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    掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)在原理、構造、工作模式、表征功能、優(yōu)缺點等

    日期:2023-12-25 22:09:29 瀏覽次數(shù):278

    以下是掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)在原理、構造、工作模式、表征功能、優(yōu)缺點等方面的比較:

    1. 基于的原理:

    • SEM:利用聚焦的電子束掃描樣品,通過電子與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(如二次電子、背散射電子等),收集這些效應轉(zhuǎn)換為圖像。

    • TEM:利用高能電子束透射樣品,通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生的衍射花樣和透射像進行觀察和分析。

    1. 基本構造:

    • SEM:電子槍、聚光鏡、掃描線圈、樣品臺、檢測器等。

    • TEM:電子槍、聚光鏡、物鏡、光闌、樣品臺、檢測器等。

    1. 工作模式:

    • SEM:通常采用恒電流或恒電壓模式,通過控制掃描速度和加速電壓獲取不同分辨率的圖像。

    • TEM:通常采用恒電流模式,通過控制加速電壓和光闌孔徑獲取不同分辨率的圖像。

    1. 主要表征功能:

    • SEM:觀察樣品的表面形貌、元素分布等。

    • TEM:觀察樣品的晶體結構、微觀形貌、晶格條紋等。

    1. 優(yōu)缺點:

    • SEM:優(yōu)點在于可觀察樣品的表面形貌和元素分布;缺點在于分辨率相對較低,對樣品厚度和導電性要求較高。

    • TEM:優(yōu)點在于可觀察樣品的晶體結構和微觀形貌;缺點在于樣品需要切成薄片,制樣難度較大,且對樣品厚度和導電性要求較高。

    總的來說,SEM和TEM在原理、構造、工作模式、表征功能和優(yōu)缺點等方面存在差異,各有其適用范圍和限制。根據(jù)研究需求選擇合適的顯微鏡是關鍵。

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